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        Abstract: 半導體IC晶圓專業烘箱

        半導體IC晶圓專業烘箱

        產品詳情

               怡和興研發的半導體晶圓烤箱,可執行晶圓級預燒和磁性退火等前道半導體功能, 以及組裝/晶圓級包封功能(例如黏晶固化、穩定性和預燒測試以及熱沖擊),以滿足其退火、干燥及熱分解需求,還滿足在大規模半導體封裝和組裝生產中對潔凈工藝、低氧化、粘合劑和聚合物的高效固化等要求。

        產品特點:

        1、利用強制通風作用,烘箱內設有風道,溫度均勻度1.5%,物料干燥均勻。

        2、采用進口數字型智能溫度控制器,定值恒溫控制模式,PID自動演算,控溫精度±0.2℃,帶傳感器斷線報警功能,超溫抑制,超調功能,控溫準,過沖低,帶超溫警報保護功能,確保產品運行安全。

        3、雙流量計節氮系統,雙延時充氮控制,無氧、低氧環境下節省氮氣消耗量。

        4、箱門于箱體結合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊,保溫性能好,抗老化,環保無污染。箱門把手采用提拉式鋅合金機械把手,機械強度高,耐磨損,開關門靈活。

        5、采用LED數字型時間計時器,計時0~9999H/M/S。設定溫度→設定保溫時間→時間到結束END提示-自動示切斷加熱-警報完成指示。

         

        半導體行業烤箱基本配置:

        1. 溫度范圍:RT~180℃;

        2. 內箱尺寸:可定制

        3. 箱體數:2個,上下布置,可定做;

        4. 內膽材質:SUS321鏡面不銹鋼,無縫焊接保護被加工件不受任何污染;

        5. 升溫時間(空載):1.5h;

        6. 加熱器:特制無塵加熱器;

        7. 超溫保護器,馬達過載保護器,蜂鳴器,故障指示燈,無熔絲開關。

         

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